超純水機與蒸餾水機在制取超純水的功能上有相似之處，但它們在多個方面存在顯著的差異，以下是對兩者的詳細對比：

1. 水質與純度；

  超純水機能夠去除水中幾乎所有的離子、微生物和有機物等雜質，達到超純水的標準。它適用于對水質要求極高的領域，如電子芯片制造和光伏組件生產等。

  蒸餾水機通過多次蒸餾可以得到高純度的水，但其過程相對較長，且需要特定的設備和操作。

2. 產水速度；

  超純水機的超純水制取速度通常較快，約為10\-100L/H，產水效率高。

  傳統的蒸餾水器制水速度較慢，一般在每小時5\-20L/H的范圍內。

3. 安全性與資源損耗；

  超純水機具有自我診斷功能，水滿后會自動待機停止運行，無需專人看管，安全性高。其純水與廢水的比例通常為1:2，資源損耗相對較低。

  蒸餾水機在制水過程中需要專人看管，以防止水分蒸干產生爆炸。其資源損耗較大，通常達到1:20的比例。

4. 電功率；

  超純水機的電功率相對較低，一般在50\-100W之間。

  蒸餾水機的電功率則較高，通常在400\-20000W的范圍內。

5. 工作原理與特性；

  超純水機采用多重過濾技術，包括預處理、反滲透膜過濾和納濾等步驟，以確保水質的高純度。此外，它還具有全自動化控制和智能化運行的特點。

  蒸餾水機則通過蒸餾過程去除水中的雜質，但這一過程可能需要多次重復以達到所需的水質。

  綜上所述，超純水機與蒸餾水機在水質純度、產水速度、安全性、資源損耗、電功率以及工作原理等方面存在顯著差異。選擇哪種設備取決于具體的應用場景和需求。對于需要高效率、高安全性且對水質要求極高的場合，超純水機可能更為合適；而在某些特定條件下，蒸餾水機可能也是一個可行的選擇。